見 積 書 の 提 出 に つ い て
令和６年１月１０日
国立大学法人静岡大学
契約担当役代行機関
調達管理課長 山田 恵子（公印省略）
国立大学法人静岡大学において、次のとおり見積合わせを実施します。
１．見積合わせに付する事項
(1)契約件名 大口径ソフトエッチング装置
(2)規格及び数量 （別紙仕様書のとおり）
(3)納入場所 （別紙仕様書のとおり）
(4)納入期限 （別紙仕様書のとおり）
２．競争に関する資格、条件、方法について
(1)見積書に記載する金額は、消費税及び地方消費税を含んだ金額を記載すること。
(2)見積書の言語は日本語にて行い、金額は日本円にて記載すること。
(3)見積書は、静岡大学工事請負等契約細則を熟知のうえ提出するものとする。
(4)静岡大学契約規則第４条又は第５条の規定に該当しない者であること。
(5)静岡大学契約担当役から取引停止の措置を受けていないこと。
(6)契約保証金は免除する。
(7)契約の相手方の決定は、見積金額が本学予定価格の制限の範囲内で最低の価格をもって有効な見積を
行った者を相手方とする。
なお、提出額が同額の場合は、再度の見積書の提出を要求し最低の価格を見積もった者とする。
(8)競争の結果については、大学のホームページ（https://www.adb.shizuoka.ac.jp/keiyaku/）へ掲載
する。
(9)支払は、検査を完了し適正な請求書を受理してから６０日以内に支払うものとする。
３．見積書の提出場所等
(1)提出場所、契約条項等の問い合わせ先
〒432-8561 浜松市中央区城北三丁目５番１号
国立大学法人静岡大学財務施設部調達管理課第一係 小塚
ＴＥＬ ０５３－４７８－１６８７
ＦＡＸ ０５３－４７８－１６９１
(2)見積書の提出期限
令和６年１月２３日（火）１５時００分（必着）
(3)提出方法
窓口または郵送（簡易書留）
仕 様 書
１．購入物品名 大口径ソフトエッチング装置
２．数 量 一式
３．納入期限 令和６年３月２９日
４．納入場所 国立大学法人静岡大学 総合研究棟 ９１１号室
浜松市中央区城北三丁目５番１号
５．契約の細目 国立大学法人静岡大学が定めた物品供給契約基準によるものとする
６．基本仕様
（１）概要
本件は、ガス供給機能を備える真空チャンバーを有したプラズマエッチング装置であり、ガス圧力や電流量を調
整してプラズマ密度制御を行うものである。
（２）構成
１、大口径ソフトエッチング装置
2、ロータリーポンプ
（３）各装置基本仕様
１、大口径ソフトエッチング装置
① 出力： 3W 以上、20W 以下
② 放電方式： 直流グロー放電
③ 電極： 絶縁シールド付属電極（陽／陰電極共に付属）
④ 試料台直径： 140 mm 以上
⑤ 均一照射面積： 試料台面積の80%以上
⑥ ベルジャ：透明ガラス(Oリング仕様)
⑦ ガス流量調整: スーパーファイン調整ニードル
⑧ 使用可能ガス種： 酸素、アルゴン、大気を含む
⑨ ガス導入口： 1/4インチSUS316チューブを接続できること
⑩ 設置サイズ： 幅400mm×奥行300mm×高さ400mm 以下（突起部及び配管部を除く）
⑪ 重量： 20kg 以下
２、ロータリーポンプ
① 排気速度： 135L/min 以上
② 消費電力： 1kW 以下
３、提出書類
（１）取扱説明書（紙） １部（納入時）
（２）保証書 １部（納入時）
上記仕様を満たす機種としては、下記物品であるが、これ以外の場合は事前に承認を受けるものとする。
メイワフォーシス株式会社製，SEDE-P/scp 大口径ソフトエッチング装置
７．搬入据付調整等
（１）搬入据付調整
・装置の搬入・据付・調整等に伴う費用は、受注者の負担とする。
・搬入・据付・調整等の一切を本学職員立会いの下に行い動作確認すること。
・導入日程は、本学担当者と協議し、日常業務に支障の無いよう十分に配慮の上、計画的に行うと共に施設に損
害を与えないよう十分に配慮すること。
・施設等に損害を与えた場合は、直ちに報告すると共に現状復帰すること。
（２）障害支援体制
・本仕様を満たすメーカーの如何に関わらず、製品のアフターサービス、保守等に関して受注者が責任を持って
迅速に対応すること。
・障害時の連絡体制として、保守要員への連絡が、電話、電子メール、FAX、携帯電話のいずれかの方法で確保で
きること。
・本装置の故障発生時には速やかに応急措置を行えること。
・機器の納入後1年間は、無償保証期間とすること（ただし正常なご使用状態の場合に限る）。
（３）操作説明等
・本装置納入後に停電時や緊急時の取り扱い等を含む操作方法について、本学が指定する日時、場所において、
十分な教育を行うこと。
・操作マニュアル（取扱説明書を含む）を１部提供すること。
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